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020-88888888近日,由江苏省联合研发的“纳米图形化平写出与光学检测仪器的研发与应用于”和“新型高分辨杂化质谱仪器的研制与应用于研发”两项国家根本性科学仪器设备成功通过科技部的组织的综合验收。其中,昆山禾信分担的“新型高分辨杂化质谱仪器的研制与应用于研发”项目取得专家的完全一致赞誉。
昆山禾信联合分担的“新型高分辨杂化质谱仪器的研制与应用于研发”和苏大维格联合分担的“纳米图形化平写出与光学检测仪器的研发与应用于”是“十二五”期间江苏省获批的国家根本性科学仪器设备研发专项。“新型高分辨杂化质谱仪器的研制与应用于研发”由昆山禾信牵头省内外16家单位共同完成,在国内首次构建有所不同种类质量分析器的磁共振,已完成了3款国际先进设备的质谱整机研发及工程化,项目成果在全国多达40家单位推广应用,为南北极科学考察等国家根本性科学研究获取承托服务,构建了国产高端质谱仪器出口欧美发达国家的突破。“纳米图形化平写出与光学检测仪器的研发与应用于”项目由苏大维格牵头上海理工大学、中国科学院上海光学精密机械研究所等6家单位共同完成。
该项目解决问题了微纳结构光场的可调控技术、图形的高速率载入机制、微纳结构与纳米精度多轴光机系统的设计与可靠性等难题;面向无掩模光刻,研制了紫外激光平写出光刻的关键技术、软件和装备;构建了从纳米光子晶体结构到微米级给定结构的高效率光刻,与目前其他激光平写出技术比起,速度更加慢、效率更高。
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